Molecular Flow Module

Para Modelar Escoamentos Gasosos a Baixa Pressão em Sistemas a Vácuo

Molecular Flow Module

Em um implantador de íons, a densidade numérica média das moléculas que liberam gases ao longo da via de feixes é usada como fator de mérito para avaliar o projeto. Ela deve ser computada em função do ângulo de pastilha, com rotação em torno de um eixo.

Modelagem Precisa de Escoamentos Gasosos de Baixa Pressão e Baixa Velocidade

O Molecular Flow Module foi desenvolvido para oferecer recursos de simulação antes indisponíveis para a modelagem precisa de escoamentos gasosos de baixa pressão e baixa velocidade em geometrias complexas. Ele é ideal para a simulação de sistemas a vácuo, inclusive os usados no processamento de semicondutores, aceleradores de partículas e espectrômetros de massa. Aplicações em canais pequenos (por exemplo, exploração de gás de xisto e escoamento em materiais nanoporosos) também podem ser abordadas.

O Molecular Flow Module usa um método de coeficiente angular rápido para simular escoamentos moleculares livres em regime permanente. Pode-se modelar escoamentos moleculares isotérmicos e não isotérmicos e calcular automaticamente a contribuição para o fluxo de calor por parte das moléculas de gás. O método da velocidade discreta também é incluído no módulo para a simulação de fluxos transicionais.

Dois Métodos para Modelar Escoamentos Moleculares Livres e Escoamentos Transicionais

O Molecular Flow Module oferece duas alternativas a esses métodos, permitindo resolver escoamentos de baixa velocidade e baixa pressão de maneira controlável e precisa. Duas interfaces físicas específicas, configuradas para receber entradas de modelo pela interface gráfica do usuário (GUI) a fim de especificar totalmente um conjunto de equações, são disponibilizadas:

Molecular Flow in an Ion Implant Vacuum System

Adsorption and Desorption of Water in a Load Lock Vacuum System

Differential Pumping

Molecular Flow Through a Microcapillary

Outgassing Pipes

Rotating Plate in a Unidirectional Molecular Flow

Molecular Flow in an RF Coupler